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酸化物半導体膜及び酸化物半導体膜の作製方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20250018945
申请日：
2025-02-07
公开(公告)号：
JP2025072563A
公开(公告)日：
2025-05-09
发明(设计)人：
YAMAZAKI SHUNPEI
TSUBUKI MASASHI
AKIMOTO KENGO
OHARA HIROKI
HONDA TATSUYA
KOMATA TAKASHI
NONAKA YUSUKE
TAKAHASHI MASAHIRO
MIYANAGA SHOJI
申请人：
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H10D30/67
IPC分类号：
H01L21/203
H10D30/01
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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