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一种金属硅化物的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311736575.5
申请日：
2023-12-14
公开(公告)号：
CN120164792A
公开(公告)日：
2025-06-17
发明(设计)人：
黄建育
申请人：
成都紫光半导体科技有限公司
申请人地址：
611730 四川省成都市成都高新区尚雅路7号附1号1楼
IPC主分类号：
H01L21/285
IPC分类号：
H01L21/268
代理机构：
北京英创嘉友知识产权代理有限公司 11447
代理人：
王浩然
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-06-17 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/285申请日:20231214 |