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基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、基板処理方法、および物品製造方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20250020993
申请日：
2025-02-12
公开(公告)号：
JP7681200B1
公开(公告)日：
2025-05-21
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、基板処理方法、および物品製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025131525A ,2025-09-09
[2]
基板保持装置、基板処理装置、基板保持方法、基板処理方法、および物品製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025131588A ,2025-09-09
[3]
基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6875357B2 ,2021-05-26
[4]
基板処理装置、基板保持装置、および、基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5877005B2 ,2016-03-02
[5]
基板保持装置、基板処理装置および基板保持方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025127534A ,2025-09-02
[6]
基板保持装置および基板処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6067392B2 ,2017-01-25
[7]
基板保持方法、基板保持装置、処理方法及び処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6568781B2 ,2019-08-28
[8]
基板処理装置、基板保持装置及び基板保持方法[ja] [P]. 
KUNUGI YUJI ;
SASAKI YOSHIHIKO ;
SAITO HITOSHI .
日本专利 :JP2024014680A ,2024-02-01
[9]
基板保持装置、基板処理装置、物品製造方法、および制御方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025173876A ,2025-11-28
[10]
基板保持装置、基板処理装置、基板処理方法、および記録媒体[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025010729A ,2025-01-23
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