碳化硅晶体生长设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421858847.9

申请日：

2024-08-02

公开(公告)号：

CN223003066U

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

李远田

申请人：

江苏集芯先进材料有限公司

申请人地址：

221000 江苏省徐州市徐州高新技术产业开发区电子信息产业园二期二号厂房

IPC主分类号：

C30B23/00

IPC分类号：

C30B29/36

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法律状态：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-20	授权	授权

共 50 条

[1]

碳化硅晶体生长设备 [P].

李兆颖 ;

陈俊宏 ;

吴亚娟 ;

周来平 .

中国专利 :CN218203166U ,2023-01-03

[2]

碳化硅晶体生长设备 [P].

杨翠柏 ;

方聪 ;

杨光辉 ;

陈丙振 .

中国专利 :CN206396359U ,2017-08-11

[3]

碳化硅晶体生长设备 [P].

许成凯 ;

陈俊宏 .

中国专利 :CN218203165U ,2023-01-03

[4]

碳化硅晶体生长设备 [P].

燕靖 ;

吴建 ;

吴亚娟 .

中国专利 :CN216663296U ,2022-06-03

[5]

碳化硅晶体生长设备 [P].

杨翠柏 ;

方聪 ;

杨光辉 ;

陈丙振 .

中国专利 :CN106637409A ,2017-05-10

[6]

碳化硅晶体生长用坩埚及碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

蓝文安 ;

刘建哲 ;

余雅俊 ;

李京波 ;

夏建白 ;

陈素春 .

中国专利 :CN215404657U ,2022-01-04

[7]

一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长设备 [P].

汪良 ;

张洁 .

中国专利 :CN215668293U ,2022-01-28

[8]

碳化硅晶体生长装置 [P].

李远田 .

中国专利 :CN223481346U ,2025-10-28

[9]

碳化硅晶体生长装置 [P].

李远田 ;

陈俊宏 ;

李兆颖 ;

周来平 .

中国专利 :CN217757757U ,2022-11-08

[10]

碳化硅晶体生长用坩埚和碳化硅晶体生长装置 [P].

徐良 ;

曹力力 ;

蓝文安 ;

朱卫祥 ;

阳明益 ;

刘建哲 ;

余雅俊 .

中国专利 :CN210974929U ,2020-07-10

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