一种碳化硅晶体及其制备方法与应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510326629.3
申请日
2025-03-19
公开(公告)号
CN120138806A
公开(公告)日
2025-06-13
发明(设计)人
方政 马远 潘尧波
申请人
中电化合物半导体有限公司
申请人地址
315336 浙江省宁波市杭州湾新区玉海东路68号15号、16号楼
IPC主分类号
C30B29/36
IPC分类号
C30B11/00
代理机构
上海汉之律师事务所 31378
代理人
胡雨
法律状态
实质审查的生效
国省代码
浙江省 宁波市
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共 50 条
[1]
一种碳化硅晶体及其制备方法与应用 [P]. 
袁振洲 ;
刘欣宇 .
中国专利 :CN114975097B ,2024-02-23
[2]
高质量碳化硅籽晶、碳化硅晶体、碳化硅衬底及其制备方法 [P]. 
彭同华 ;
王波 ;
赵宁 ;
娄艳芳 ;
郭钰 ;
张贺 ;
刘春俊 ;
杨建 .
中国专利 :CN113186601B ,2021-07-30
[3]
一种碳化硅晶体及其制备方法 [P]. 
陈豆 ;
马远 ;
潘尧波 .
中国专利 :CN118407131A ,2024-07-30
[4]
碳化硅粉料的装料方法、碳化硅晶体及其制备方法和应用 [P]. 
张永伟 ;
袁振洲 ;
刘欣宇 .
中国专利 :CN116516484B ,2024-02-20
[5]
碳化硅复合籽晶及其制备方法、碳化硅晶体 [P]. 
周国清 .
中国专利 :CN120401008A ,2025-08-01
[6]
碳化硅复合籽晶及其制备方法、碳化硅晶体 [P]. 
周国清 .
中国专利 :CN120401009A ,2025-08-01
[7]
碳化硅晶体制备方法和碳化硅晶体生长装置及其应用 [P]. 
翟虎 ;
孙金梅 .
中国专利 :CN117684269A ,2024-03-12
[8]
一种制备碳化硅晶体的方法及碳化硅晶体 [P]. 
王明华 ;
曾志鹏 .
中国专利 :CN117385467A ,2024-01-12
[9]
一种碳化硅晶体的制备方法及碳化硅晶体 [P]. 
方政 ;
马远 ;
潘尧波 ;
薛卫明 .
中国专利 :CN120485956A ,2025-08-15
[10]
一种制备碳化硅晶体的方法及碳化硅晶体 [P]. 
王明华 ;
曾志鹏 .
中国专利 :CN117385467B ,2024-02-13