用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510389561.3

申请日：

2025-03-31

公开(公告)号：

CN119877084B

公开(公告)日：

2025-06-20

发明(设计)人：

李维霞闫洪嘉张鹏

申请人：

苏州晨晖智能设备有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道88号G3-2401

IPC主分类号：

C30B15/00

IPC分类号：

C30B15/20 C30B29/06

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

殷海霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 15/00申请日:20250331
2025-06-20	授权	授权
2025-04-25	公开	公开

共 50 条

[1]

用于单晶硅拉晶的排气装置及单晶炉 [P].

李维霞 ;

闫洪嘉 ;

张鹏 .

中国专利 :CN119877084A ,2025-04-25

[2]

单晶硅棒拉晶装置及单晶炉 [P].

张先琴 ;

徐耀 ;

乔乐 .

中国专利 :CN223386283U ,2025-09-26

[3]

单晶硅拉晶方法、单晶炉及晶棒 [P].

李亮 ;

马玉花 ;

袁新生 .

中国专利 :CN118792732A ,2024-10-18

[4]

单晶硅拉晶控制方法及装置、单晶硅拉晶炉 [P].

毛勤虎 .

中国专利 :CN115044967A ,2022-09-13

[5]

单晶硅拉晶控制方法及装置、单晶硅拉晶炉 [P].

毛勤虎 .

中国专利 :CN115044967B ,2024-03-22

[6]

单晶炉及单晶硅制备方法 [P].

赵玉智 ;

欧子杨 ;

陈占仓 ;

魏建兴 ;

蔡辉 .

中国专利 :CN119433688A ,2025-02-14

[7]

单晶炉及单晶硅晶棒的制造方法 [P].

赵巍 ;

龙昭钦 ;

宋丽平 ;

龙小娇 .

中国专利 :CN115652423A ,2023-01-31

[8]

拉晶炉、单晶硅锭的制备方法、单晶硅锭及硅片 [P].

张婉婉 ;

文英熙 ;

柳清超 .

中国专利 :CN110129884A ,2019-08-16

[9]

单晶炉及单晶硅制备方法 [P].

蒲以松 ;

惠聪 .

中国专利 :CN110983429A ,2020-04-10

[10]

一种用于制造单晶硅棒的拉晶炉、方法及单晶硅棒 [P].

张婉婉 ;

文英熙 .

中国专利 :CN113862777A ,2021-12-31

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