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用于制造具有室的微机电器件的工艺以及微机电器件

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411825357.3
申请日：
2024-12-12
公开(公告)号：
CN120157083A
公开(公告)日：
2025-06-17
发明(设计)人：
F·韦尔切西 G·阿勒加托 L·科索 M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 M·加拉瓦利亚
申请人：
意法半导体国际公司
申请人地址：
瑞士日内瓦
IPC主分类号：
B81C1/00
IPC分类号：
B81B7/00 B81B7/02
代理机构：
北京市金杜律师事务所 11256
代理人：
段丹辉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-17 公开 公开
2025-07-04 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):B81C 1/00申请日:20241212
共 50 条
[1]
微机电器件的制造方法、微机电器件及微机电器件基底结构 [P]. 
宋焱 ;
韩冬 ;
马清杰 .
中国专利 :CN106379858A ,2017-02-08
[2]
微机电器件和用于形成微机电器件的方法 [P]. 
S.巴尔森 ;
A.德厄 ;
W.弗里萨 ;
W.克莱因 ;
U.克伦宾 .
中国专利 :CN107128870A ,2017-09-05
[3]
微机电器件 [P]. 
L·巴尔多 ;
E·杜奇 ;
F·F·维拉 .
中国专利 :CN206126836U ,2017-04-26
[4]
微机电器件 [P]. 
G·阿勒加托 ;
L·奥吉欧尼 ;
M·加拉瓦利亚 ;
R·索玛彻尼 .
中国专利 :CN206635022U ,2017-11-14
[5]
微机电器件 [P]. 
M·阿兹佩蒂亚·尤尔奎亚 ;
E·杜奇 ;
S·尼科利 ;
R·卡姆佩德利 ;
I·瓦里斯科 ;
L·滕托里 .
:CN220766508U ,2024-04-12
[6]
用于制造组合微机电器件的方法和对应组合微机电器件 [P]. 
F·韦尔切西 ;
L·塞吉齐 ;
L·奥吉欧尼 ;
L·科索 .
中国专利 :CN115403001A ,2022-11-29
[7]
具有对键合进行保护的微机电器件和制造微机电器件的工艺 [P]. 
L·玛吉 ;
S·康蒂 .
中国专利 :CN104555887A ,2015-04-29
[8]
微机电器件和制作微机电器件的方法 [P]. 
M.贝格迈斯特 ;
T.格里勒 ;
U.黑德尼希 .
中国专利 :CN107473176A ,2017-12-15
[9]
微机电器件 [P]. 
L·奎利诺尼 ;
P·费德利 ;
L·G·法罗尼 .
中国专利 :CN217808766U ,2022-11-15
[10]
组合微机电器件 [P]. 
F·韦尔切西 ;
L·塞吉齐 ;
L·奥吉欧尼 ;
L·科索 .
中国专利 :CN217808767U ,2022-11-15
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