共 50 条
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金属酸化物の形成方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20250022207
申请日：
2025-02-14
公开(公告)号：
JP2025075041A
公开(公告)日：
2025-05-14
发明(设计)人：
YAMAZAKI SHUNPEI
NAKAYAMA TOMONORI
申请人：
SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/365
IPC分类号：
C23C16/40
C23C16/455
C23C16/56
H10B12/00
H10B41/70
H10D30/01
H10D30/67
H10D84/80
H10D84/83
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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