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一种适用于超薄单晶硅片酸腐蚀的腐蚀笼

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421673458.9
申请日：
2024-07-15
公开(公告)号：
CN223038899U
公开(公告)日：
2025-06-27
发明(设计)人：
姚剑龙 宋亚峰 张燕
申请人：
洛阳鸿泰半导体有限公司
申请人地址：
471023 河南省洛阳市高新区滨河北路22号留学生创业园2#钢构厂房
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68 H01L21/687
代理机构：
洛阳华和知识产权代理事务所(普通合伙) 41203
代理人：
李征
法律状态：
授权
国省代码：
河北省 石家庄市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-06-27 授权 授权
共 50 条
[1]
一种适用于单晶硅片酸腐蚀的新型腐蚀架 [P]. 
姚剑龙 ;
杨颜礼 ;
满时君 .
中国专利 :CN222734954U ,2025-04-08
[2]
一种适用于半自动单晶硅片酸腐蚀的新型腐蚀槽 [P]. 
姚剑龙 .
中国专利 :CN222744445U ,2025-04-11
[3]
一种半导体单晶硅片酸腐蚀驱动装置 [P]. 
李建刚 ;
王海君 ;
刘建锋 .
中国专利 :CN204857680U ,2015-12-09
[4]
重掺单晶硅片先酸腐蚀后碱腐蚀的腐蚀工艺 [P]. 
罗翀 ;
李翔 ;
吕莹 ;
刘琦 ;
王丹 .
中国专利 :CN102021657A ,2011-04-20
[5]
一种带气帘的单晶硅片酸腐蚀机 [P]. 
姚剑龙 ;
田波峰 ;
董杨 .
中国专利 :CN222637230U ,2025-03-18
[6]
重掺单晶硅片先碱腐蚀后酸腐蚀的腐蚀工艺 [P]. 
张俊生 ;
罗翀 ;
张晋英 ;
刘沛然 ;
王国瑞 .
中国专利 :CN102021658A ,2011-04-20
[7]
一种去除单晶硅片酸腐蚀斑痕的方法 [P]. 
田原 ;
于妍 ;
王云彪 ;
陈亚楠 ;
杨召杰 .
中国专利 :CN106391567A ,2017-02-15
[8]
8英寸轻掺单晶硅片的酸腐蚀工艺 [P]. 
焦志鹏 ;
罗翀 ;
由佰玲 ;
孙希凯 ;
张宇 .
中国专利 :CN102021659A ,2011-04-20
[9]
一种IGBT用8英寸单晶硅片的酸腐蚀工艺 [P]. 
罗翀 ;
由佰玲 ;
刘建伟 ;
谭启龙 .
中国专利 :CN102433563A ,2012-05-02
[10]
一种12英寸轻掺单晶硅片的酸腐蚀方法 [P]. 
倪云达 ;
葛正芳 ;
钱大丰 .
中国专利 :CN102839426A ,2012-12-26
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