一种基于残差图神经网络的光学邻近效应校正方法与系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510470271.1

申请日：

2025-04-15

公开(公告)号：

CN120315238A

公开(公告)日：

2025-07-15

发明(设计)人：

马旭刘景清

申请人：

北京理工大学

申请人地址：

100081 北京市海淀区中关村南大街5号

IPC主分类号：

G03F1/36

IPC分类号：

G06N3/042 G06N3/0464

代理机构：

北京理工大学专利中心 11120

代理人：

高会允

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/36申请日:20250415
2025-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于U-Net神经网络的光学邻近效应校正方法 [P].

李皖龙 ;

王子民 ;

俞承励 ;

施俊翔 ;

周强强 ;

田诗瑶 ;

周再发 .

中国专利 :CN120370633A ,2025-07-25

[2]

一种基于神经网络模型的光学邻近校正方法 [P].

时雪龙 ;

赵宇航 ;

陈寿面 ;

李铭 .

中国专利 :CN107908071A ,2018-04-13

[3]

光学邻近效应校正方法、系统、终端及介质 [P].

张馨元 ;

徐世斌 ;

姚淼红 ;

颜哲钜 ;

李翰轩 ;

任堃 .

中国专利 :CN120891694A ,2025-11-04

[4]

一种环形图案的光学邻近效应校正方法 [P].

杨尚 ;

韦亚一 ;

张利斌 .

中国专利 :CN112859536A ,2021-05-28

[5]

一种层次化的光学邻近效应校正方法 [P].

严晓浪 ;

史峥 ;

张宇孚 .

中国专利 :CN101013271A ,2007-08-08

[6]

一种基于Cell的层次化光学邻近效应校正方法 [P].

罗海燕 ;

陈岚 ;

尹明会 ;

赵劼 .

中国专利 :CN102147567B ,2011-08-10

[7]

一种基于神经网络的电子束邻近效应矫正方法 [P].

刘杰 ;

姚文泽 ;

侯程阳 ;

段辉高 ;

陈艺勤 ;

周剑 .

中国专利 :CN111538213B ,2020-08-14

[8]

胶囊残差神经网络、胶囊残差神经网络的图像分类方法 [P].

匡平 ;

李凡 ;

何明耘 ;

王豪爽 ;

李小芳 .

中国专利 :CN110009097A ,2019-07-12

[9]

一种基于模型仿真的激光直写光学邻近效应校正方法 [P].

杨尚 ;

韦亚一 ;

张利斌 .

中国专利 :CN111736423A ,2020-10-02

[10]

基于残差网络的衍射深度神经网络系统 [P].

戴琼海 ;

窦泓焜 ;

严涛 ;

邓岳 ;

林星 .

中国专利 :CN111582435A ,2020-08-25

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