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一种基于莫尔条纹的石英基板缺陷检测装置及方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510465936.X
申请日：
2025-04-15
公开(公告)号：
CN120294012A
公开(公告)日：
2025-07-11
发明(设计)人：
曹琴
欧阳琛
张欣
申请人：
长飞石英技术（武汉）有限公司
申请人地址：
430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区九峰街道光谷三路196号长飞科技园（三期）（全部自用）1号建筑101室（自贸区武汉片区）
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
G01N21/01
代理机构：
湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102
代理人：
胡建平
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/95申请日:20250415 |