基板缺陷的检测方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010321122.6

申请日：

2020-04-22

公开(公告)号：

CN111522156A

公开(公告)日：

2020-08-11

发明(设计)人：

叶巧云

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

G02F113

IPC分类号：

G01N2195

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

李新干

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-09-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G02F 1/13 申请日:20200422
2020-08-11	公开	公开

共 50 条

[1]

基板缺陷检测装置及利用它的检测方法 [P].

卢承国 ;

李成哲 ;

金贤洙 ;

金秉燮 .

中国专利 :CN108291879B ,2018-07-17

[2]

检测基板缺陷的检测方法及检测装置 [P].

毛继禹 ;

张然 .

中国专利 :CN103792705A ,2014-05-14

[3]

一种陶瓷基板缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

王斌 ;

贺贤汉 ;

周轶靓 ;

季成龙 ;

葛荘 .

中国专利 :CN115078400A ,2022-09-20

[4]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

久利龙平 .

中国专利 :CN111323423A ,2020-06-23

[5]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

山崎隆一 .

中国专利 :CN101600957A ,2009-12-09

[6]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

久利龙平 .

日本专利 :CN111323423B ,2024-01-30

[7]

缺陷检测方法及缺陷检测装置 [P].

杨学红 .

中国专利 :CN109726131B ,2019-05-07

[8]

缺陷检测方法及缺陷检测装置 [P].

高志豪 ;

邓亦书 .

中国专利 :CN104914106A ,2015-09-16

[9]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

林彬 ;

于大维 ;

张凯 .

中国专利 :CN115541584A ,2022-12-30

[10]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

何伟 .

中国专利 :CN109856877A ,2019-06-07

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