检测基板缺陷的检测方法及检测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410041819.2

申请日：

2014-01-28

公开(公告)号：

CN103792705A

公开(公告)日：

2014-05-14

发明(设计)人：

毛继禹张然

申请人：

申请人地址：

100176 北京市经济技术开发区经海一路118号

IPC主分类号：

G02F113

IPC分类号：

G01N21956

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;陈源

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-06-11	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101582909227 IPC(主分类):G02F 1/13 专利申请号:2014100418192 申请日:20140128
2014-05-14	公开	公开
2017-02-01	授权	授权

共 50 条

[1]

基板缺陷的检测方法及装置 [P].

叶巧云 .

中国专利 :CN111522156A ,2020-08-11

[2]

缺陷检测装置、缺陷修正装置及缺陷检测方法 [P].

大庭博明 .

中国专利 :CN103630542A ,2014-03-12

[3]

基板缺陷检测装置及利用它的检测方法 [P].

卢承国 ;

李成哲 ;

金贤洙 ;

金秉燮 .

中国专利 :CN108291879B ,2018-07-17

[4]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

梅红伟 ;

涂彦昕 ;

胡伟 ;

刘健犇 ;

刘立帅 ;

王黎明 .

中国专利 :CN110031511B ,2019-07-19

[5]

缺陷检测装置、缺陷检测系统及缺陷检测方法 [P].

张勤 ;

付翔宇 ;

李国军 .

中国专利 :CN117949458A ,2024-04-30

[6]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

久利龙平 .

中国专利 :CN111323423A ,2020-06-23

[7]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

山崎隆一 .

中国专利 :CN101600957A ,2009-12-09

[8]

缺陷检测方法及缺陷检测装置 [P].

杨学红 .

中国专利 :CN109726131B ,2019-05-07

[9]

缺陷检测方法及缺陷检测装置 [P].

高志豪 ;

邓亦书 .

中国专利 :CN104914106A ,2015-09-16

[10]

缺陷检测装置及缺陷检测方法 [P].

林彬 ;

于大维 ;

张凯 .

中国专利 :CN115541584A ,2022-12-30

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