一种镀膜机靶位调节装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202422256809.2
申请日
2024-09-14
公开(公告)号
CN223103062U
公开(公告)日
2025-07-15
发明(设计)人
李冰妍 陈舟 戴亚锋
申请人
富时精工(南京)有限公司
申请人地址
211100 江苏省南京市江宁区将军大道669号吉马产业园4号厂房一层(江宁开发区)
IPC主分类号
C23C14/54
IPC分类号
代理机构
滁州创科维知识产权代理事务所(普通合伙) 34167
代理人
陈博
法律状态
授权
国省代码
江苏省 南京市
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共 50 条
[1]
镀膜机靶位调节装置及镀膜机 [P]. 
董清世 ;
谷泉 ;
李晓东 ;
纵邦义 ;
韦珂珂 .
中国专利 :CN209352974U ,2019-09-06
[2]
一种镀膜机靶位移动防护装置 [P]. 
杨群生 ;
苏纪荣 .
中国专利 :CN209481780U ,2019-10-11
[3]
一种镀膜机靶头 [P]. 
封文炎 ;
潘毅 ;
林敏 ;
姚峰 ;
黄李平 .
中国专利 :CN210394496U ,2020-04-24
[4]
一种靶磁控溅射镀膜机 [P]. 
宋永宾 ;
王鹏 ;
宋欣怡 .
中国专利 :CN118685744B ,2025-03-21
[5]
一种光学镀膜机伞罩装置 [P]. 
张贵生 ;
王桂利 ;
张峪 .
中国专利 :CN208869653U ,2019-05-17
[6]
一种靶磁控溅射镀膜机 [P]. 
宋永宾 ;
王鹏 ;
宋欣怡 .
中国专利 :CN118685744A ,2024-09-24
[7]
一种镀膜机温度记录装置 [P]. 
刘晓东 .
中国专利 :CN217542164U ,2022-10-04
[8]
镀膜机靶位移动挡板装置 [P]. 
胡凡 .
中国专利 :CN207581904U ,2018-07-06
[9]
一种镀膜机 [P]. 
石潺 ;
石云玉 .
中国专利 :CN215151835U ,2021-12-14
[10]
镀膜机靶位移动挡板装置 [P]. 
张向涛 ;
闫灿妞 ;
冀帅超 ;
张晓飞 .
中国专利 :CN220317933U ,2024-01-09