光刻仿真模型构建方法及相关设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510466202.3

申请日：

2025-04-14

公开(公告)号：

CN120233646A

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

刘志斌王航宇王成瑾

申请人：

深圳晶源信息技术有限公司

申请人地址：

518045 广东省深圳市福田区福保街道福保社区桃花路与槟榔道交汇处西北深九科技创业园3号楼1101

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京智汇东方知识产权代理事务所(普通合伙) 11391

代理人：

胡向阳

法律状态：

公开

国省代码：

广东省深圳市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	公开	公开
2025-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250414

共 50 条

[1]

光刻仿真模型构建方法、装置、设备、介质及程序产品 [P].

赵昕 ;

甘远 .

中国专利 :CN119270593A ,2025-01-07

[2]

光刻胶模型优化及构建方法和光刻模型构建方法 [P].

姜晓晴 ;

曾辉 .

中国专利 :CN119647405B ,2025-07-25

[3]

光刻胶模型优化及构建方法和光刻模型构建方法 [P].

姜晓晴 ;

曾辉 .

中国专利 :CN119647405A ,2025-03-18

[4]

一种仿真交互模型构建方法、交互方法及相关设备 [P].

吴宗翰 ;

吴俊骅 ;

刘冰 ;

姜毅 .

中国专利 :CN113296653A ,2021-08-24

[5]

一种光刻模型构建方法、设备、介质及产品 [P].

丁明 ;

夏轲 .

中国专利 :CN119937256A ,2025-05-06

[6]

一种去除模型构建、光学元件面形仿真方法及相关设备 [P].

钟波 ;

张清华 ;

雷鹏立 ;

文中江 ;

袁志刚 ;

李洁 .

中国专利 :CN117787014A ,2024-03-29

[7]

服务模型构建方法及相关装置 [P].

周峰 ;

陈伟 ;

李莉 ;

林佳佳 ;

王晶晶 ;

刘键 .

中国专利 :CN114090888B ,2022-02-25

[8]

建筑模型构建方法及相关装置 [P].

李彦君 .

中国专利 :CN113094785B ,2021-07-09

[9]

电池模型构建方法、仿真方法、装置、设备及存储介质 [P].

李晓彤 ;

吴兴远 ;

魏奕民 .

中国专利 :CN118975011A ,2024-11-15

[10]

数据解析及数据模型构建方法及相关设备 [P].

高源伯 ;

邓雅茜 ;

王守信 ;

梁晓钰 ;

王剑昊 ;

王运韬 ;

赵维晨 ;

苏钰 .

中国专利 :CN119739902A ,2025-04-01

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