光刻机投影物镜像差在线检测方法、装置、介质、设备及系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510451202.6

申请日：

2025-04-11

公开(公告)号：

CN119960273B

公开(公告)日：

2025-06-27

发明(设计)人：

请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名请求不公布姓名

申请人：

上海芯东来半导体科技有限公司

申请人地址：

201200 上海市浦东新区川沙新镇川宏路300号东3幢

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385

代理人：

张浪

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-09	公开	公开
2025-06-27	授权	授权
2025-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250411

共 50 条

[1]

光刻机投影物镜像差在线检测方法、装置、介质、设备及系统 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119960273A ,2025-05-09

[2]

光刻机投影物镜波像差在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

刘克 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101236362A ,2008-08-06

[3]

光刻机投影物镜大像差检测方法 [P].

段立峰 ;

王向朝 ;

徐东波 .

中国专利 :CN102621819B ,2012-08-01

[4]

光刻机投影物镜波像差在线检测装置及方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN102269937B ,2011-12-07

[5]

光刻机投影物镜偶像差原位检测系统及检测方法 [P].

袁琼雁 ;

王向朝 ;

邱自成 .

中国专利 :CN101221372A ,2008-07-16

[6]

光刻机投影物镜奇像差原位检测方法 [P].

马明英 ;

王向朝 .

中国专利 :CN100428058C ,2005-12-21

[7]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

涂远莹 ;

王向朝 ;

步扬 .

中国专利 :CN103197512B ,2013-07-10

[8]

光刻机投影物镜偏振像差原位检测方法 [P].

沈丽娜 ;

王向朝 ;

李思坤 ;

闫观勇 ;

诸波尔 ;

张恒 ;

孟泽江 .

中国专利 :CN105319869B ,2016-02-10

[9]

投影物镜波像差检测装置及方法、光刻机 [P].

马明英 ;

姜雪林 ;

夏建培 .

中国专利 :CN111352303A ,2020-06-30

[10]

光刻机投影物镜偶像差原位检测系统 [P].

袁琼雁 ;

王向朝 ;

邱自成 .

中国专利 :CN201166781Y ,2008-12-17

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