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一种蚀刻组合物及其用途

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311801942.5
申请日：
2023-12-26
公开(公告)号：
CN120248893A
公开(公告)日：
2025-07-04
发明(设计)人：
夏德勇 刘兵 王志豪
申请人：
安集微电子科技（上海）股份有限公司
申请人地址：
201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层
IPC主分类号：
C09K13/06
IPC分类号：
H01L21/306 C09K13/08 C09K13/00
代理机构：
上海市建纬律师事务所 31579
代理人：
李佳铭;王芳
法律状态：
公开
国省代码：
上海市 市辖区
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-07-04 公开 公开
共 50 条
[1]
一种蚀刻组合物及其用途 [P]. 
程章 ;
刘兵 ;
彭洪修 ;
吴兵 .
中国专利 :CN118185630A ,2024-06-14
[2]
一种蚀刻组合物及其用途 [P]. 
张文贝 ;
刘兵 ;
彭洪修 .
中国专利 :CN118256249A ,2024-06-28
[3]
一种蚀刻组合物及其用途 [P]. 
张文贝 ;
刘兵 ;
彭洪修 .
中国专利 :CN118256250A ,2024-06-28
[4]
一种蚀刻组合物及其用途 [P]. 
程章 ;
吴兵 ;
刘兵 ;
彭洪修 .
中国专利 :CN119913513A ,2025-05-02
[5]
一种蚀刻组合物及其用途 [P]. 
张文贝 ;
刘兵 ;
彭洪修 .
中国专利 :CN118272091A ,2024-07-02
[6]
蚀刻组合物 [P]. 
T·多瑞 ;
E·A·克内尔 ;
高桥智威 .
中国专利 :CN106460196A ,2017-02-22
[7]
蚀刻组合物 [P]. 
T·多瑞 ;
E·A·克内尔 ;
高桥智威 .
中国专利 :CN115044375A ,2022-09-13
[8]
磨料组合物及其用途 [P]. 
酒谷能彰 ;
上田和正 ;
竹内美明 .
中国专利 :CN1176283A ,1998-03-18
[9]
一种蚀刻组合物 [P]. 
张维棚 ;
刘兵 .
中国专利 :CN117660963A ,2024-03-08
[10]
一种用于蚀刻后残留物去除的组合物 [P]. 
夏德勇 ;
刘兵 ;
刘玉凤 .
中国专利 :CN120173682A ,2025-06-20
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