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蚀刻组合物
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201580017552.6
申请日
:
2015-03-17
公开(公告)号
:
CN106460196A
公开(公告)日
:
2017-02-22
发明(设计)人
:
T·多瑞
E·A·克内尔
高桥智威
申请人
:
申请人地址
:
美国罗得岛州
IPC主分类号
:
C23F110
IPC分类号
:
C23F140
C23F144
代理机构
:
北京博思佳知识产权代理有限公司 11415
代理人
:
方志炜
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2017-03-22
实质审查的生效
实质审查的生效 号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101708963816 IPC(主分类):C23F 1/10 专利申请号:2015800175526 申请日:20150317
2017-02-22
公开
公开
共 50 条
[1]
蚀刻组合物
[P].
T·多瑞
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T·多瑞
;
E·A·克内尔
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E·A·克内尔
;
高桥智威
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高桥智威
.
中国专利
:CN115044375A
,2022-09-13
[2]
蚀刻组合物
[P].
高桥和敬
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高桥和敬
;
高桥智威
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高桥智威
;
W·A·沃伊特恰克
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W·A·沃伊特恰克
.
中国专利
:CN114651317A
,2022-06-21
[3]
蚀刻组合物
[P].
吴柏衡
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吴柏衡
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李懿
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李懿
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高桥秀树
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高桥秀树
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荻原绘里奈
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荻原绘里奈
;
廖本男
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廖本男
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陈韵慈
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陈韵慈
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吕志鹏
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吕志鹏
.
中国专利
:CN112080279A
,2020-12-15
[4]
蚀刻液组合物
[P].
尹景湖
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尹景湖
;
申孝燮
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申孝燮
;
金世训
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金世训
.
中国专利
:CN107090581A
,2017-08-25
[5]
蚀刻液组合物
[P].
朴相*
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朴相*
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吴陈*
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吴陈*
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金益俊
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金益俊
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金希泰
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金希泰
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尹景湖
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尹景湖
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金世训
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金世训
.
中国专利
:CN109518189A
,2019-03-26
[6]
蚀刻组合物和使用所述蚀刻组合物的方法
[P].
W.D.刘
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W.D.刘
;
Y-C.李
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Y-C.李
;
T.陈
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T.陈
;
T.梅布拉图
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T.梅布拉图
;
A.吴
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A.吴
;
E.C.K.曾
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E.C.K.曾
;
G.E.帕里斯
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G.E.帕里斯
.
中国专利
:CN107527808A
,2017-12-29
[7]
蚀刻组合物
[P].
朴相承
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朴相承
;
金益儁
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金益儁
;
金世训
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金世训
.
中国专利
:CN108018557B
,2018-05-11
[8]
金属蚀刻液组合物及其蚀刻方法
[P].
颜子钧
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颜子钧
;
李家兴
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李家兴
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邱少华
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邱少华
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雷伯钧
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雷伯钧
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李森雄
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李森雄
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吕志鹏
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吕志鹏
.
中国专利
:CN102102206A
,2011-06-22
[9]
一种蚀刻组合物及其用途
[P].
夏德勇
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
夏德勇
;
刘兵
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
刘兵
;
王志豪
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机构:
安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
王志豪
.
中国专利
:CN120248893A
,2025-07-04
[10]
具有高WN/W蚀刻选择性的剥离组合物
[P].
刘文达
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刘文达
;
李翊嘉
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李翊嘉
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陈天牛
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陈天牛
;
W·J·小卡斯特尔
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W·J·小卡斯特尔
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稻冈诚二
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稻冈诚二
;
G·E·帕里斯
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G·E·帕里斯
.
中国专利
:CN105739251A
,2016-07-06
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