蚀刻组合物

被引：0

申请号：

CN202080077761.0

申请日：

2020-09-02

公开(公告)号：

CN114651317A

公开(公告)日：

2022-06-21

发明(设计)人：

高桥和敬高桥智威 W·A·沃伊特恰克

申请人：

申请人地址：

美国罗得岛州

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L213213 C09K1306

代理机构：

北京博思佳知识产权代理有限公司 11415

代理人：

艾佳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-21	公开	公开
2022-08-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20200902

共 50 条

[1]

蚀刻组合物 [P].

T·多瑞 ;

E·A·克内尔 ;

高桥智威 .

中国专利 :CN106460196A ,2017-02-22

[2]

蚀刻组合物 [P].

T·多瑞 ;

E·A·克内尔 ;

高桥智威 .

中国专利 :CN115044375A ,2022-09-13

[3]

蚀刻组合物和使用所述蚀刻组合物的方法 [P].

W.D.刘 ;

Y-C.李 ;

T.陈 ;

T.梅布拉图 ;

A.吴 ;

E.C.K.曾 ;

G.E.帕里斯 .

中国专利 :CN107527808A ,2017-12-29

[4]

碱性蚀刻液组合物及应用其的蚀刻方法 [P].

陈雨农 ;

吴光耀 ;

汤慧怡 .

中国专利 :CN107227462B ,2017-10-03

[5]

蚀刻组合物 [P].

朴相承 ;

金益儁 ;

金世训 .

中国专利 :CN108018557B ,2018-05-11

[6]

蚀刻组合物 [P].

吴柏衡 ;

李懿 ;

高桥秀树 ;

荻原绘里奈 ;

廖本男 ;

陈韵慈 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN112080279A ,2020-12-15

[7]

金属蚀刻液组合物及其蚀刻方法 [P].

颜子钧 ;

李家兴 ;

邱少华 ;

雷伯钧 ;

李森雄 ;

吕志鹏 .

中国专利 :CN102102206A ,2011-06-22

[8]

一种蚀刻组合物 [P].

张维棚 ;

刘兵 .

中国专利 :CN117660963A ,2024-03-08

[9]

蚀刻剂组合物 [P].

刘仁浩 ;

鞠仁说 ;

南基龙 ;

朴英哲 ;

尹暎晋 ;

李昔准 .

中国专利 :CN104250814A ,2014-12-31

[10]

蚀刻液组合物 [P].

朴相* ;

吴陈* ;

金益俊 ;

金希泰 ;

尹景湖 ;

金世训 .

中国专利 :CN109518189A ,2019-03-26

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