正型面板光刻胶及光刻工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410488953.0

申请日：

2024-04-22

公开(公告)号：

CN120295056A

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

余航张善钧蔡财福赵家祺

申请人：

上海飞凯材料科技股份有限公司

申请人地址：

201908 上海市宝山区潘泾路2999号

IPC主分类号：

G03F7/004

IPC分类号：

G03F7/039

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

蔡静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/004申请日:20240422
2025-07-11	公开	公开

共 50 条

[1]

芯片用光刻胶及光刻工艺 [P].

王锦平 ;

王杰 .

中国专利 :CN110908240A ,2020-03-24

[2]

聚合物、光刻胶、光刻胶层及光刻工艺 [P].

王晓伟 .

中国专利 :CN114539518A ,2022-05-27

[3]

一种光刻胶及其光刻工艺 [P].

王国秋 ;

黄坚 ;

陈璀 .

中国专利 :CN111983890A ,2020-11-24

[4]

一种光刻胶及其光刻工艺 [P].

王国秋 ;

黄坚 ;

陈璀 .

中国专利 :CN111983890B ,2024-03-22

[5]

正性光刻胶、光刻胶层及其制备方法、光刻工艺 [P].

王晓伟 .

中国专利 :CN114460810A ,2022-05-10

[6]

正型光刻胶组合物、制备正型光刻胶的方法和玻璃件 [P].

卢泽宇 .

中国专利 :CN113835297A ,2021-12-24

[7]

正型光刻胶组合物、制备正型光刻胶的方法和玻璃件 [P].

卢泽宇 .

中国专利 :CN113835297B ,2024-05-28

[8]

用于GPP工艺的光刻胶、制备方法及其光刻工艺 [P].

孙逊运 ;

吴淑财 ;

于凯 ;

王安栋 .

中国专利 :CN108196426A ,2018-06-22

[9]

用于GPP工艺的光刻胶、制备方法及其光刻工艺 [P].

孙逊运 ;

王安栋 ;

吴淑财 ;

于凯 .

中国专利 :CN108089403B ,2018-05-29

[10]

一种光刻胶、制备方法及其光刻工艺 [P].

孙逊运 ;

谢桂兰 ;

孙敏 ;

吴淑财 ;

于凯 ;

宋建林 .

中国专利 :CN107844028B ,2018-03-27

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