一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311783461.6

申请日：

2023-12-22

公开(公告)号：

CN120230478A

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

吴鹏王晨何华锋郎鹏飞蒋广文吴佩璋

申请人：

宁波安集微电子科技有限公司

申请人地址：

315800 浙江省宁波市北仑区柴桥街道青山路79号

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/306

代理机构：

上海市建纬律师事务所 31579

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

史经深 ;

何华锋 ;

王晨 ;

李星 ;

李全干 ;

顾钦源 .

中国专利 :CN118256154A ,2024-06-28

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

何华锋 ;

王晨 ;

李星 ;

史经深 .

中国专利 :CN111378370B ,2020-07-07

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

李守田 ;

尹先升 ;

贾长征 ;

王雨春 .

中国专利 :CN109251677A ,2019-01-22

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

何华锋 ;

李星 .

中国专利 :CN111378384A ,2020-07-07

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

李守田 ;

尹先升 ;

贾长征 ;

王雨春 .

中国专利 :CN109251680A ,2019-01-22

[6]

一种化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

何华锋 ;

李星 .

中国专利 :CN111378368B ,2020-07-07

[7]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[8]

一种化学机械抛光液及其应用 [P].

何华锋 ;

王晨 ;

李星 ;

孙金涛 ;

史经深 .

中国专利 :CN111378369B ,2020-07-07

[9]

一种化学机械抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN111732899A ,2020-10-02

[10]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

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