蒸发源组件以及蒸发设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510406075.8

申请日：

2025-04-01

公开(公告)号：

CN120249889A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

刘华猛王蓓王宇钊文官印李彦松

申请人：

京东方科技集团股份有限公司

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C14/24

IPC分类号：

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

雷思鸣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-22	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/24申请日:20250401
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸发源、蒸发源系统 [P].

胡海兵 .

中国专利 :CN111378933A ,2020-07-07

[2]

蒸发方法、蒸发设备和蒸发源 [P].

普拉萨德·V.S.S.R.V.·玛达瓦博特拉 ;

迈克尔·朗 ;

苏迪尔·萨德拉 ;

斯里尼瓦斯·撒鲁谷 ;

娜迦·迪皮卡·贝瓦拉 .

中国专利 :CN114641590A ,2022-06-17

[3]

张鑫狄 ;

崔伟 ;

付文悦 ;

张峰杰 ;

孙俊民 .

中国专利 :CN206219654U ,2017-06-06

[4]

张鑫狄 ;

崔伟 ;

付文悦 ;

张峰杰 ;

孙俊民 .

中国专利 :CN106399947A ,2017-02-15

[5]

蒸发源装置以及溅射镀膜设备 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

龚文志 ;

李永杰 ;

张亮 ;

唐宇霖 ;

张永胜 ;

满小花 .

中国专利 :CN107663626A ,2018-02-06

[6]

蒸发源装置以及溅射镀膜设备 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

龚文志 ;

李永杰 ;

张亮 ;

唐宇霖 ;

张永胜 ;

满小花 .

中国专利 :CN207608619U ,2018-07-13

[7]

蒸发源装置和共蒸发设备 [P].

王岚 .

中国专利 :CN209798078U ,2019-12-17

[8]

蒸发源喷嘴 [P].

轩景泉 ;

钱海涛 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN113005408A ,2021-06-22

[9]

蒸发源装置 [P].

罗鹏 ;

邱林林 .

中国专利 :CN207418851U ,2018-05-29

[10]

蒸发源喷嘴 [P].

轩景泉 ;

钱海涛 ;

林文晶 ;

马晓宇 .

中国专利 :CN211522301U ,2020-09-18

← 1 2 3 4 5 →