蒸发方法、蒸发设备和蒸发源

被引：0

申请号：

CN202080077377.0

申请日：

2020-01-07

公开(公告)号：

CN114641590A

公开(公告)日：

2022-06-17

发明(设计)人：

普拉萨德·V.S.S.R.V.·玛达瓦博特拉迈克尔·朗苏迪尔·萨德拉斯里尼瓦斯·撒鲁谷娜迦·迪皮卡·贝瓦拉

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20200107
2022-06-17	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸发源装置和共蒸发设备 [P].

王岚 .

中国专利 :CN209798078U ,2019-12-17

[2]

蒸发源组件以及蒸发设备 [P].

刘华猛 ;

王蓓 ;

王宇钊 ;

文官印 ;

李彦松 .

中国专利 :CN120249889A ,2025-07-04

[3]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[4]

近藤喜成 ;

山田尚人 ;

小林义仁 ;

佐藤聪 ;

松本荣一 .

中国专利 :CN104603321A ,2015-05-06

[5]

蒸发源、遮板装置和蒸发方法 [P].

佩曼·哈米吉尔 .

中国专利 :CN114423881A ,2022-04-29

[6]

蒸发源以及包括该蒸发源的沉积设备 [P].

金振杰 .

中国专利 :CN112981328A ,2021-06-18

[7]

蒸发坩埚和蒸发设备 [P].

吴建鹏 ;

梁逸南 ;

嵇凤丽 ;

罗昶 ;

杨忠英 .

中国专利 :CN110191976A ,2019-08-30

[8]

用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置 [P].

托马斯·格比利 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN112135920A ,2020-12-25

[9]

蒸发方法及蒸发设备 [P].

宋怡桦 ;

徐士峰 .

中国专利 :CN101724810B ,2010-06-09

[10]

克努曾箱蒸发源 [P].

胡小鹏 ;

薛其坤 ;

陈曦 ;

康志新 ;

李鲁新 .

中国专利 :CN204550788U ,2015-08-12

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