用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880093054.3

申请日：

2018-08-03

公开(公告)号：

CN112135920A

公开(公告)日：

2020-12-25

发明(设计)人：

托马斯·格比利安德烈亚斯·勒普

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1400

IPC分类号：

C23C1412 C23C1424 C23C1604 C23C1644 H01L2167 H01L5100 C23C1404

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-12-25	公开	公开
2021-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/00 申请日:20180803

共 50 条

[1]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[2]

用于蒸发源材料的蒸发器、材料沉积源、沉积装置及其方法 [P].

克莱尔·阿姆斯特朗 ;

弗兰克·施纳彭伯格 ;

托马斯·德皮希 ;

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

安雅·毛里查特 ;

苏珊娜·舒尔弗 .

中国专利 :CN111655898A ,2020-09-11

[3]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN115074662A ,2022-09-20

[4]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107592889A ,2018-01-16

[5]

用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN108463572A ,2018-08-28

[6]

蒸发源以及包括该蒸发源的沉积设备 [P].

金振杰 .

中国专利 :CN112981328A ,2021-06-18

[7]

具有多个源喷射方向的蒸发源 [P].

唐纳德·韦普兰肯 .

中国专利 :CN109997241A ,2019-07-09

[8]

在基板上沉积已蒸发源材料的方法和沉积设备 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

佩曼·哈梅格 ;

安德烈亚斯·穆勒 .

中国专利 :CN114645249A ,2022-06-21

[9]

蒸发源、遮板装置和蒸发方法 [P].

佩曼·哈米吉尔 .

中国专利 :CN114423881A ,2022-04-29

[10]

一种用于线性蒸发源坩埚的材料添加装置 [P].

陈鹏 ;

王安祥 .

中国专利 :CN203382814U ,2014-01-08

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