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在基板上沉积已蒸发源材料的方法和沉积设备

被引：0
申请号：
CN202011521333.0
申请日：
2020-12-21
公开(公告)号：
CN114645249A
公开(公告)日：
2022-06-21
发明(设计)人：
塞巴斯蒂安·弗兰克 佩曼·哈梅格 安德烈亚斯·穆勒
申请人：
申请人地址：
美国加利福尼亚州
IPC主分类号：
C23C1412
IPC分类号：
C23C1424 H01L5156
代理机构：
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人：
徐金国;赵静
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-06-21 公开 公开
2022-07-08 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/12 申请日:20201221
共 50 条
[1]
蒸发源、材料沉积设备和在基板上沉积材料的方法 [P]. 
斯蒂芬·班格特 .
美国专利 :CN119604642A ,2025-03-11
[2]
用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P]. 
乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;
斯蒂芬·班格特 ;
哈拉尔德·沃斯特 ;
德烈亚斯·勒普 ;
戴特尔·哈斯 .
中国专利 :CN115074662A ,2022-09-20
[3]
用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P]. 
乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;
斯蒂芬·班格特 ;
哈拉尔德·沃斯特 ;
德烈亚斯·勒普 ;
戴特尔·哈斯 .
中国专利 :CN107592889A ,2018-01-16
[4]
辐射装置、用于在基板上沉积材料的沉积设备和用于在基板上沉积材料的方法 [P]. 
乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;
法比奥·贝亚雷斯 ;
斯特芬·布朗格 ;
尼尔·莫里森 ;
托比亚斯·斯托利 ;
霍斯特·阿尔特 ;
格哈德·施泰尼格 .
中国专利 :CN112840443A ,2021-05-25
[5]
用于蒸发源的温度控制遮蔽件、用于在基板上沉积材料的材料沉积设备及方法 [P]. 
安德烈亚斯·勒普 ;
斯蒂芬·班格特 .
美国专利 :CN115698370B ,2025-06-17
[6]
用于蒸发源的温度控制遮蔽件、用于在基板上沉积材料的材料沉积设备及方法 [P]. 
安德烈亚斯·勒普 ;
斯蒂芬·班格特 .
中国专利 :CN115698370A ,2023-02-03
[7]
用于沉积已蒸发材料于基板上的蒸发源、沉积设备、用于测量已蒸发材料的蒸汽压力的方法、及用于确定已蒸发材料的蒸发率的方法 [P]. 
托马斯·格比利 ;
沃尔夫冈·布什贝克 .
中国专利 :CN110621803B ,2019-12-27
[8]
蒸发源和具有该蒸发源的沉积设备 [P]. 
崔丞镐 ;
郑石源 ;
明承镐 ;
卢喆来 .
中国专利 :CN102102176B ,2011-06-22
[9]
用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法 [P]. 
斯蒂芬·班格特 ;
德烈亚斯·勒普 .
中国专利 :CN108463572A ,2018-08-28
[10]
用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P]. 
塞巴斯蒂安·弗兰克 ;
伊夫林·舍尔 ;
斯特凡·凯勒 ;
安德烈亚斯·穆勒 ;
佩曼·哈梅格 ;
朱利安·奥巴赫 .
中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11
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