用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法

被引：0

申请号：

CN202210614575.7

申请日：

2016-05-10

公开(公告)号：

CN115074662A

公开(公告)日：

2022-09-20

发明(设计)人：

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波斯蒂芬·班格特哈拉尔德·沃斯特德烈亚斯·勒普戴特尔·哈斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1412 C23C1424 H01L5156

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	公开	公开

共 50 条

[1]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107592889A ,2018-01-16

[2]

用于沉积已蒸发材料于基板上的蒸发源、沉积设备、用于测量已蒸发材料的蒸汽压力的方法、及用于确定已蒸发材料的蒸发率的方法 [P].

托马斯·格比利 ;

沃尔夫冈·布什贝克 .

中国专利 :CN110621803B ,2019-12-27

[3]

用于沉积蒸发材料的蒸发源、真空沉积系统和用于沉积蒸发材料的方法 [P].

安德烈亚斯·洛普 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN110691861A ,2020-01-14

[4]

用于沉积已蒸发材料的蒸气源、用于蒸气源的喷嘴、真空沉积系统和用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

迈克尔·龙 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN113166925A ,2021-07-23

[5]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[6]

在基板上沉积已蒸发源材料的方法和沉积设备 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

佩曼·哈梅格 ;

安德烈亚斯·穆勒 .

中国专利 :CN114645249A ,2022-06-21

[7]

用于蒸发源材料的蒸发器、材料沉积源、沉积装置及其方法 [P].

克莱尔·阿姆斯特朗 ;

弗兰克·施纳彭伯格 ;

托马斯·德皮希 ;

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

安雅·毛里查特 ;

苏珊娜·舒尔弗 .

中国专利 :CN111655898A ,2020-09-11

[8]

用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置 [P].

托马斯·格比利 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN112135920A ,2020-12-25

[9]

用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN108463572A ,2018-08-28

[10]

沉积蒸发源 [P].

雷智 ;

邹志杰 .

中国专利 :CN102212784A ,2011-10-12

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