用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680034644.X

申请日：

2016-01-15

公开(公告)号：

CN108463572A

公开(公告)日：

2018-08-28

发明(设计)人：

斯蒂芬·班格特德烈亚斯·勒普

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-21	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20160115
2019-10-18	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23C 14/04 申请公布日:20180828
2018-08-28	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸发源、沉积设备以及用于蒸发有机材料的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN106995911A ,2017-08-01

[2]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[3]

用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN105917019A ,2016-08-31

[4]

用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN105814231B ,2016-07-27

[5]

用于有机材料的蒸发源 [P].

J·M·迭戈兹-坎波 ;

S·邦格特 ;

A·鲁普 ;

U·舒斯勒 .

中国专利 :CN106133184B ,2016-11-16

[6]

用于有机材料的蒸发源 [P].

S·邦格特 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

U·舒斯勒 ;

A·鲁普 .

中国专利 :CN106133183B ,2016-11-16

[7]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN115074662A ,2022-09-20

[8]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107592889A ,2018-01-16

[9]

用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置 [P].

托马斯·格比利 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN112135920A ,2020-12-25

[10]

有机材料蒸发源 [P].

成建波 ;

张磊 ;

祁康成 .

中国专利 :CN1421542A ,2003-06-04

← 1 2 3 4 5 →