用于有机材料的蒸发源

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201480077386.4
申请日
2014-03-21
公开(公告)号
CN106133184B
公开(公告)日
2016-11-16
发明(设计)人
J·M·迭戈兹-坎波 S·邦格特 A·鲁普 U·舒斯勒
申请人
申请人地址
美国加利福尼亚州
IPC主分类号
C23C1424
IPC分类号
C23C1404 C23C1456
代理机构
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人
何焜
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
用于有机材料的蒸发源 [P]. 
S·邦格特 ;
J·M·迭戈兹-坎波 ;
U·舒斯勒 ;
A·鲁普 .
中国专利 :CN106133183B ,2016-11-16
[2]
有机材料蒸发源 [P]. 
成建波 ;
张磊 ;
祁康成 .
中国专利 :CN1421542A ,2003-06-04
[3]
用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法 [P]. 
S·邦格特 ;
U·舒斯勒 ;
J·M·迭戈兹-坎波 ;
D·哈斯 .
中国专利 :CN105917019A ,2016-08-31
[4]
蒸发源、沉积设备以及用于蒸发有机材料的方法 [P]. 
S·邦格特 ;
U·舒斯勒 ;
J·M·迭戈兹-坎波 ;
D·哈斯 .
中国专利 :CN106995911A ,2017-08-01
[5]
用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法 [P]. 
斯蒂芬·班格特 ;
德烈亚斯·勒普 .
中国专利 :CN108463572A ,2018-08-28
[6]
一种有机材料蒸发源 [P]. 
周东营 ;
施怡 ;
冯莱 .
中国专利 :CN215517608U ,2022-01-14
[7]
一种有机材料蒸发源 [P]. 
周军鹏 .
中国专利 :CN202658219U ,2013-01-09
[8]
用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法 [P]. 
S·邦格特 ;
U·舒斯勒 ;
J·M·迭戈兹-坎波 ;
D·哈斯 .
中国专利 :CN105814231B ,2016-07-27
[9]
有机材料用蒸发源及有机蒸镀装置 [P]. 
根岸敏夫 ;
越田达彦 ;
羽根功二 ;
中村寿充 .
中国专利 :CN1950536A ,2007-04-18
[10]
蒸发源 [P]. 
赵芳 ;
林成勇 ;
魏锋 .
中国专利 :CN103469161A ,2013-12-25