蒸发源、沉积设备以及用于蒸发有机材料的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710018205.6

申请日：

2013-12-10

公开(公告)号：

CN106995911A

公开(公告)日：

2017-08-01

发明(设计)人：

S·邦格特 U·舒斯勒 J·M·迭戈兹-坎波 D·哈斯

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1412 C23C1424 C23C1450 C23C1454 H01L5156

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

侯颖媖

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-08-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101743986457 IPC(主分类):C23C 14/04 专利申请号:2017100182056 申请日:20131210
2020-07-31	授权	授权
2017-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

用于有机材料的蒸发源、用于在真空腔室中沉积有机材料的沉积设备及蒸发有机材料的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN105814231B ,2016-07-27

[2]

用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN105917019A ,2016-08-31

[3]

用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN108463572A ,2018-08-28

[4]

蒸发源以及包括该蒸发源的沉积设备 [P].

金振杰 .

中国专利 :CN112981328A ,2021-06-18

[5]

用于有机材料的蒸发源 [P].

J·M·迭戈兹-坎波 ;

S·邦格特 ;

A·鲁普 ;

U·舒斯勒 .

中国专利 :CN106133184B ,2016-11-16

[6]

用于有机材料的蒸发源 [P].

S·邦格特 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

U·舒斯勒 ;

A·鲁普 .

中国专利 :CN106133183B ,2016-11-16

[7]

有机材料蒸发源 [P].

成建波 ;

张磊 ;

祁康成 .

中国专利 :CN1421542A ,2003-06-04

[8]

蒸发源和具有该蒸发源的沉积设备 [P].

崔丞镐 ;

郑石源 ;

明承镐 ;

卢喆来 .

中国专利 :CN102102176B ,2011-06-22

[9]

有机材料的蒸发器及蒸发有机材料的方法 [P].

S·海恩 ;

G·霍夫曼 ;

P·斯库克 .

中国专利 :CN102165090A ,2011-08-24

[10]

蒸发源、材料沉积设备和在基板上沉积材料的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 .

美国专利 :CN119604642A ,2025-03-11

← 1 2 3 4 5 →