蒸发源、材料沉积设备和在基板上沉积材料的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280098675.7

申请日：

2022-07-26

公开(公告)号：

CN119604642A

公开(公告)日：

2025-03-11

发明(设计)人：

斯蒂芬·班格特

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C14/56

IPC分类号：

C23C14/24

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-03-11	公开	公开

共 50 条

[1]

在基板上沉积已蒸发源材料的方法和沉积设备 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

佩曼·哈梅格 ;

安德烈亚斯·穆勒 .

中国专利 :CN114645249A ,2022-06-21

[2]

用于沉积蒸发材料的蒸发源、真空沉积系统和用于沉积蒸发材料的方法 [P].

安德烈亚斯·洛普 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN110691861A ,2020-01-14

[3]

用于蒸发源的温度控制遮蔽件、用于在基板上沉积材料的材料沉积设备及方法 [P].

安德烈亚斯·勒普 ;

斯蒂芬·班格特 .

美国专利 :CN115698370B ,2025-06-17

[4]

用于蒸发源的温度控制遮蔽件、用于在基板上沉积材料的材料沉积设备及方法 [P].

安德烈亚斯·勒普 ;

斯蒂芬·班格特 .

中国专利 :CN115698370A ,2023-02-03

[5]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN115074662A ,2022-09-20

[6]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107592889A ,2018-01-16

[7]

沉积设备及将沉积材料沉积在基板上的方法 [P].

金元容 ;

全镇弘 .

中国专利 :CN103882381B ,2014-06-25

[8]

用于沉积蒸发材料的沉积设备及其方法 [P].

托马斯·德皮希 ;

克莱尔·阿姆斯特朗 ;

弗兰克·施纳彭伯格 .

中国专利 :CN111684103A ,2020-09-18

[9]

用于沉积蒸发材料的沉积设备及其方法 [P].

托马斯·德皮希 ;

克莱尔·阿姆斯特朗 ;

弗兰克·施纳彭伯格 .

美国专利 :CN111684103B ,2024-04-16

[10]

用于沉积已蒸发材料于基板上的蒸发源、沉积设备、用于测量已蒸发材料的蒸汽压力的方法、及用于确定已蒸发材料的蒸发率的方法 [P].

托马斯·格比利 ;

沃尔夫冈·布什贝克 .

中国专利 :CN110621803B ,2019-12-27

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