用于沉积蒸发材料的沉积设备及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880088646.6

申请日：

2018-02-05

公开(公告)号：

CN111684103A

公开(公告)日：

2020-09-18

发明(设计)人：

托马斯·德皮希克莱尔·阿姆斯特朗弗兰克·施纳彭伯格

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1456

IPC分类号：

C23C1424 C23C1454

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/56 申请日:20180205
2020-09-18	公开	公开

共 50 条

[1]

用于沉积蒸发材料的沉积设备及其方法 [P].

托马斯·德皮希 ;

克莱尔·阿姆斯特朗 ;

弗兰克·施纳彭伯格 .

美国专利 :CN111684103B ,2024-04-16

[2]

用于沉积蒸发材料的蒸发源、真空沉积系统和用于沉积蒸发材料的方法 [P].

安德烈亚斯·洛普 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN110691861A ,2020-01-14

[3]

蒸发源、材料沉积设备和在基板上沉积材料的方法 [P].

斯蒂芬·班格特 .

美国专利 :CN119604642A ,2025-03-11

[4]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN115074662A ,2022-09-20

[5]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107592889A ,2018-01-16

[6]

用于测量沉积率的测量组件、蒸发源、沉积设备及其方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

尤韦·斯库尤勒 ;

海克·兰格拉夫 ;

安德烈亚斯·洛普 ;

汉斯·斯塔夫 .

中国专利 :CN108291291A ,2018-07-17

[7]

蒸发器、沉积装置、沉积设备及其操作方法 [P].

斯蒂芬·凯勒 ;

乌韦·许斯勒 ;

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

里奥·库韦克·比安-孙 .

中国专利 :CN111304595A ,2020-06-19

[8]

蒸发器、沉积装置、沉积设备及其操作方法 [P].

斯蒂芬·凯勒 ;

乌韦·许斯勒 ;

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

里奥·库韦克·比安-孙 .

中国专利 :CN104884664A ,2015-09-02

[9]

用于在柔性基板上沉积材料的蒸发设备及其方法 [P].

罗兰·特拉斯尔 .

美国专利 :CN121137527A ,2025-12-16

[10]

用于沉积已蒸发材料的蒸气源、用于蒸气源的喷嘴、真空沉积系统和用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

迈克尔·龙 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN113166925A ,2021-07-23

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