蒸发源以及包括该蒸发源的沉积设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011454479.8

申请日：

2020-12-10

公开(公告)号：

CN112981328A

公开(公告)日：

2021-06-18

发明(设计)人：

金振杰

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1454

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司 11018

代理人：

翟洪玲;周艳玲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-18	公开	公开

共 50 条

[1]

蒸发源和具有该蒸发源的沉积设备 [P].

崔丞镐 ;

郑石源 ;

明承镐 ;

卢喆来 .

中国专利 :CN102102176B ,2011-06-22

[2]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[3]

线性蒸发源及具有该线性蒸发源的沉积设备 [P].

徐敏逵 ;

韩尚辰 ;

卢喆来 ;

安宰弘 .

中国专利 :CN102102175A ,2011-06-22

[4]

蒸发源、沉积设备以及用于蒸发有机材料的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN106995911A ,2017-08-01

[5]

蒸发方法、蒸发设备和蒸发源 [P].

普拉萨德·V.S.S.R.V.·玛达瓦博特拉 ;

迈克尔·朗 ;

苏迪尔·萨德拉 ;

斯里尼瓦斯·撒鲁谷 ;

娜迦·迪皮卡·贝瓦拉 .

中国专利 :CN114641590A ,2022-06-17

[6]

蒸发源装置和共蒸发设备 [P].

王岚 .

中国专利 :CN209798078U ,2019-12-17

[7]

用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置 [P].

托马斯·格比利 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN112135920A ,2020-12-25

[8]

用于有机材料的蒸发源、具有用于有机材料的蒸发源的设备、具有带有用于有机材料的蒸发源的蒸发沉积设备的系统以及用于操作用于有机材料的蒸发源的方法 [P].

S·邦格特 ;

U·舒斯勒 ;

J·M·迭戈兹-坎波 ;

D·哈斯 .

中国专利 :CN105917019A ,2016-08-31

[9]

用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN108463572A ,2018-08-28

[10]

在基板上沉积已蒸发源材料的方法和沉积设备 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

佩曼·哈梅格 ;

安德烈亚斯·穆勒 .

中国专利 :CN114645249A ,2022-06-21

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