用于蒸发源材料的蒸发器、材料沉积源、沉积装置及其方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880087606.X

申请日：

2018-01-23

公开(公告)号：

CN111655898A

公开(公告)日：

2020-09-11

发明(设计)人：

克莱尔·阿姆斯特朗弗兰克·施纳彭伯格托马斯·德皮希乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波安雅·毛里查特苏珊娜·舒尔弗

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1426 C23C1412 C23C1456

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20180123
2020-09-11	公开	公开

共 50 条

[1]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN115074662A ,2022-09-20

[2]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[3]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN107592889A ,2018-01-16

[4]

用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置 [P].

托马斯·格比利 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN112135920A ,2020-12-25

[5]

用于沉积蒸发的材料的沉积源、沉积装置及其方法 [P].

斯里尼瓦斯·萨鲁古 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

安德烈亚斯·勒普 ;

乌韦·许斯勒 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN112912533A ,2021-06-04

[6]

用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN108463572A ,2018-08-28

[7]

源材料蒸发器 [P].

王发展 .

中国专利 :CN201037164Y ,2008-03-19

[8]

蒸发源裂解管、蒸发源装置以及沉积装置 [P].

李博研 ;

韩钰 ;

林舒平 ;

刘晓宇 ;

钟大龙 ;

赵明 .

中国专利 :CN118621268A ,2024-09-10

[9]

用于在基板上沉积材料的蒸发器、形成蒸发器的方法、及用于在柔性基板上沉积材料的蒸发设备 [P].

细川昭弘 ;

马克·特朗 .

中国专利 :CN112368813A ,2021-02-12

[10]

蒸发器、沉积装置、沉积设备及其操作方法 [P].

斯蒂芬·凯勒 ;

乌韦·许斯勒 ;

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

里奥·库韦克·比安-孙 .

中国专利 :CN111304595A ,2020-06-19

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