蒸发源、遮板装置和蒸发方法

被引：0

申请号：

CN201980100464.0

申请日：

2019-09-19

公开(公告)号：

CN114423881A

公开(公告)日：

2022-04-29

发明(设计)人：

佩曼·哈米吉尔

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

C23C1424

IPC分类号：

C23C1412 C23C1404 H01L5100

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;赵静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-29	公开	公开
2022-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/24 申请日:20190919

共 50 条

[1]

蒸发方法、蒸发设备和蒸发源 [P].

普拉萨德·V.S.S.R.V.·玛达瓦博特拉 ;

迈克尔·朗 ;

苏迪尔·萨德拉 ;

斯里尼瓦斯·撒鲁谷 ;

娜迦·迪皮卡·贝瓦拉 .

中国专利 :CN114641590A ,2022-06-17

[2]

用于蒸发源材料的蒸发装置、蒸发源和沉积系统 [P].

塞巴斯蒂安·弗兰克 ;

伊夫林·舍尔 ;

斯特凡·凯勒 ;

安德烈亚斯·穆勒 ;

佩曼·哈梅格 ;

朱利安·奥巴赫 .

中国专利 :CN211227301U ,2020-08-11

[3]

蒸发源装置和共蒸发设备 [P].

王岚 .

中国专利 :CN209798078U ,2019-12-17

[4]

用于沉积蒸发的源材料的蒸发源、屏蔽蒸发的源材料的方法和用于蒸发源的屏蔽装置 [P].

托马斯·格比利 ;

安德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN112135920A ,2020-12-25

[5]

蒸发源以及包括该蒸发源的沉积设备 [P].

金振杰 .

中国专利 :CN112981328A ,2021-06-18

[6]

克努曾箱蒸发源装置 [P].

胡小鹏 ;

薛其坤 ;

陈曦 ;

康志新 ;

李鲁新 .

中国专利 :CN204714898U ,2015-10-21

[7]

用于沉积有机材料的蒸发源、设备和方法 [P].

斯蒂芬·班格特 ;

德烈亚斯·勒普 .

中国专利 :CN108463572A ,2018-08-28

[8]

高效纳米真空蒸发源 [P].

王宁 .

中国专利 :CN111206228A ,2020-05-29

[9]

克努曾箱蒸发源 [P].

胡小鹏 ;

薛其坤 ;

陈曦 ;

康志新 ;

李鲁新 .

中国专利 :CN204550788U ,2015-08-12

[10]

用于沉积已蒸发材料的蒸发源与用于沉积已蒸发材料的方法 [P].

乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 ;

斯蒂芬·班格特 ;

哈拉尔德·沃斯特 ;

德烈亚斯·勒普 ;

戴特尔·哈斯 .

中国专利 :CN115074662A ,2022-09-20

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