基板加工装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411951320.5

申请日：

2024-12-27

公开(公告)号：

CN120237049A

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

朴美昭李龙熙曹永千

申请人：

细美事有限公司

申请人地址：

韩国忠清南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/02

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

侯志源

法律状态：

公开

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

基板加工装置和方法 [P].

泷泽亨 ;

米原隆夫 ;

山方宪二 .

中国专利 :CN1198586A ,1998-11-11

[2]

基板加工装置和方法 [P].

罗丞殷 ;

金大勋 ;

裴贤佑 ;

金圣贤 .

韩国专利 :CN119694929A ,2025-03-25

[3]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

韩政勋 ;

金荣勋 ;

黃喆周 .

中国专利 :CN104584193B ,2015-04-29

[4]

基板加工装置 [P].

林义相 .

韩国专利 :CN118263149A ,2024-06-28

[5]

基板加工装置及方法 [P].

郭在燦 ;

姜成圭 ;

郑勋 ;

赵炳夏 .

中国专利 :CN104395987A ,2015-03-04

[6]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

崔泰钟 ;

李龙熙 ;

李钟斗 .

韩国专利 :CN119879516A ,2025-04-25

[7]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

权慧斌 ;

尹堵铉 ;

朴美昭 ;

任镕浚 .

韩国专利 :CN120237056A ,2025-07-01

[8]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

金真奕 .

韩国专利 :CN120164813A ,2025-06-17

[9]

基板加工方法和基板加工装置 [P].

金泰信 ;

曹洗澧曜汉 ;

郑映大 ;

吴承彦 ;

尹铉 ;

赵裕珍 ;

崔基熏 .

韩国专利 :CN120221403A ,2025-06-27

[10]

基板加工装置和基板加工方法 [P].

山胁阳平 ;

中野征二 ;

川口义广 ;

児玉宗久 .

中国专利 :CN113924640A ,2022-01-11

← 1 2 3 4 5 →