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一种应用于晶圆全自动划片机的机械手装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410045821.0
申请日：
2024-01-12
公开(公告)号：
CN120280385A
公开(公告)日：
2025-07-08
发明(设计)人：
胡天
谭中林
龚胜
申请人：
合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司
申请人地址：
230000 安徽省合肥市高新区望江西路4715号沪浦工业园2栋2层
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/68
H01L21/683
H01L21/78
代理机构：
合肥北极牛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34239
代理人：
刘苗
法律状态：
公开
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-08 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20240112 |