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一种晶圆全自动划片机自动UV解胶机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322370582.X
申请日：
2023-09-01
公开(公告)号：
CN220984474U
公开(公告)日：
2024-05-17
发明(设计)人：
胡天
龚胜
谭中林
申请人：
合肥艾凯瑞斯智能装备有限公司
申请人地址：
230000 安徽省合肥市高新区望江西路4715号沪浦工业园2栋2层
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
代理机构：
合肥北极牛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 34239
代理人：
朱谷春
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
常州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-05-17 | 授权 | 授权 |