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光学薄膜厚度监测装置及光学薄膜镀膜系统
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510490786.8
申请日：
2025-04-18
公开(公告)号：
CN120272872A
公开(公告)日：
2025-07-08
发明(设计)人：
范卫星
潘文创
沈灿彬
范心怡
申请人：
江西领航半导体科技有限公司
申请人地址：
333100 江西省上饶市鄱阳县鄱阳工业园区芦田产业基地火炬二路电子信息产业园A5幢
IPC主分类号：
C23C14/54
IPC分类号：
C23C14/30
代理机构：
北京高沃律师事务所 11569
代理人：
苏哩莉
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-11-28 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利申请权的转移IPC(主分类):C23C 14/54登记生效日:20251111变更事项:申请人变更前权利人:江西领航半导体科技有限公司变更后权利人:东莞丰润兴光电科技有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:333100 江西省上饶市鄱阳县鄱阳工业园区芦田产业基地火炬二路电子信息产业园A5幢变更后权利人:523063 广东省东莞市高埗镇冼沙高科路3号2号楼311室 |
| 2025-07-08 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/54申请日:20250418 |