碳化硅涂层及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410652608.6

申请日：

2024-05-24

公开(公告)号：

CN118326365B

公开(公告)日：

2025-07-11

发明(设计)人：

贺鹏博胡丹李亚林

申请人：

苏州铠欣半导体科技有限公司湖南铠欣新材料科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星湖街328号创意产业园4-B602

IPC主分类号：

C23C16/32

IPC分类号：

C23C16/52

代理机构：

华进联合专利商标代理有限公司 44224

代理人：

侯武娇

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/32申请日:20240524
2025-07-11	授权	授权
2024-07-12	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅涂层及其制备方法 [P].

贺鹏博 ;

胡丹 ;

李亚林 .

中国专利 :CN118326365A ,2024-07-12

[2]

石墨碳化硅涂层件及其制备方法 [P].

李亚林 ;

贺鹏博 ;

李飞 .

中国专利 :CN120844050A ,2025-10-28

[3]

碳化硅涂层的制备方法与带有碳化硅涂层的基体 [P].

请求不公布姓名 ;

门玉娟 ;

请求不公布姓名 ;

傅霖兵 ;

春伟博 .

中国专利 :CN118685758B ,2024-12-17

[4]

碳化硅涂层的制备方法与带有碳化硅涂层的基体 [P].

请求不公布姓名 ;

门玉娟 ;

请求不公布姓名 ;

傅霖兵 ;

春伟博 .

中国专利 :CN118685758A ,2024-09-24

[5]

一种多孔碳化硅涂层及其制备方法 [P].

刘荣正 ;

刘马林 ;

常家兴 ;

邵友林 ;

刘兵 .

中国专利 :CN105152687B ,2015-12-16

[6]

一种制备碳化硅涂层石墨基座的方法及碳化硅涂层石墨基座 [P].

余盛杰 ;

刘玮琪 ;

陈峰 ;

许鹏飞 ;

廖家豪 .

中国专利 :CN120866797A ,2025-10-31

[7]

一种石墨件碳化硅涂层及其制备方法 [P].

杨艳秋 ;

孙永利 ;

马景龙 ;

张丽红 ;

董旸华 ;

李杨 ;

褚坤 .

中国专利 :CN121063960A ,2025-12-05

[8]

一种制备碳化硅涂层的方法 [P].

余盛杰 ;

史华 ;

廖家豪 .

中国专利 :CN120866795A ,2025-10-31

[9]

一种制备碳化硅材料的方法及碳化硅材料 [P].

余盛杰 ;

廖家豪 ;

柴攀 ;

万强 .

中国专利 :CN118086866B ,2024-08-20

[10]

一种碳化硅材料制备方法、碳化硅材料及碳化硅部件 [P].

杜宗伟 ;

杨佐东 ;

罗春 ;

陈欣 ;

张文平 .

中国专利 :CN120138603A ,2025-06-13

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