石墨碳化硅涂层件及其制备方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202511031391.8
申请日
2025-07-25
公开(公告)号
CN120844050A
公开(公告)日
2025-10-28
发明(设计)人
李亚林 贺鹏博 李飞
申请人
苏州铠欣半导体科技有限公司
申请人地址
215000 江苏省苏州市苏州工业园区丰和路1号
IPC主分类号
C23C16/32
IPC分类号
C23C16/02 C30B25/12 C23C16/458 C23C14/50 C30B23/02
代理机构
华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人
李美
法律状态
公开
国省代码
江苏省 苏州市
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共 50 条
[1]
碳化硅涂层及其制备方法 [P]. 
贺鹏博 ;
胡丹 ;
李亚林 .
中国专利 :CN118326365B ,2025-07-11
[2]
碳化硅涂层及其制备方法 [P]. 
贺鹏博 ;
胡丹 ;
李亚林 .
中国专利 :CN118326365A ,2024-07-12
[3]
一种制备碳化硅涂层石墨基座的方法及碳化硅涂层石墨基座 [P]. 
余盛杰 ;
刘玮琪 ;
陈峰 ;
许鹏飞 ;
廖家豪 .
中国专利 :CN120866797A ,2025-10-31
[4]
一种石墨件碳化硅涂层及其制备方法 [P]. 
杨艳秋 ;
孙永利 ;
马景龙 ;
张丽红 ;
董旸华 ;
李杨 ;
褚坤 .
中国专利 :CN121063960A ,2025-12-05
[5]
碳化硅涂层的制备方法与带有碳化硅涂层的基体 [P]. 
请求不公布姓名 ;
门玉娟 ;
请求不公布姓名 ;
傅霖兵 ;
春伟博 .
中国专利 :CN118685758B ,2024-12-17
[6]
碳化硅涂层的制备方法与带有碳化硅涂层的基体 [P]. 
请求不公布姓名 ;
门玉娟 ;
请求不公布姓名 ;
傅霖兵 ;
春伟博 .
中国专利 :CN118685758A ,2024-09-24
[7]
一种石墨表面梯度碳化硅涂层及其制备方法 [P]. 
刘佳宝 ;
陈照峰 ;
汪洋 ;
余盛杰 ;
潘影 ;
柴攀 ;
万强 .
中国专利 :CN112624797A ,2021-04-09
[8]
一种在石墨表面制备碳化硅涂层的方法 [P]. 
张永辉 ;
肖志超 ;
苏君明 ;
彭志刚 ;
侯卫权 .
中国专利 :CN102850087A ,2013-01-02
[9]
一种制备碳化硅涂层的方法 [P]. 
余盛杰 ;
史华 ;
廖家豪 .
中国专利 :CN120866795A ,2025-10-31
[10]
一种制备高导热碳化硅涂层的方法 [P]. 
王菲 ;
余盛杰 ;
廖家豪 .
中国专利 :CN120989581A ,2025-11-21