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两步骤植入以改善线边缘粗糙度与线宽粗糙度
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202380083983.7
申请日：
2023-11-16
公开(公告)号：
CN120303771A
公开(公告)日：
2025-07-11
发明(设计)人：
约翰·哈塔拉
戴辉雄
申请人：
应用材料股份有限公司
申请人地址：
美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯大道3050号(邮递区号:95054-3299)
IPC主分类号：
H01L21/027
IPC分类号：
H01L21/3105
H01J37/317
代理机构：
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人：
张娜;杨泽
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-07-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/027申请日:20231116 |
| 2025-07-11 | 公开 | 公开 |