一种氧化铈合成方法及一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311799412.1

申请日：

2023-12-26

公开(公告)号：

CN120247077A

公开(公告)日：

2025-07-04

发明(设计)人：

黄振鹏尹先升冯家辉王博

申请人：

安集微电子科技（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层

IPC主分类号：

C01F17/235

IPC分类号：

C01F17/10 C09G1/02 B82Y40/00

代理机构：

上海市建纬律师事务所 31579

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种氧化铈的合成方法及一种化学机械抛光液 [P].

刘同君 ;

尹先升 ;

李节 ;

蔡文龙 .

中国专利 :CN120247078A ,2025-07-04

[2]

一种合成氧化铈复合磨料的方法及化学机械抛光液 [P].

邹哲敏 ;

贺兆波 ;

张庭 ;

罗月 ;

叶瑞 ;

常希文 ;

冯凯 ;

崔会东 ;

刘文戈 ;

沙傲阳 .

中国专利 :CN118995136A ,2024-11-22

[3]

一种化学机械抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN111732899A ,2020-10-02

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

李守田 ;

任晓明 ;

贾长征 .

中国专利 :CN113004798B ,2024-04-12

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

李守田 ;

尹先升 ;

贾长征 ;

王雨春 .

中国专利 :CN109251677A ,2019-01-22

[6]

一种氧化铈粉体、制备方法及化学机械抛光液 [P].

向靖宇 ;

谭显民 ;

王临曦 ;

肖桂林 .

中国专利 :CN120288811A ,2025-07-11

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

李守田 ;

尹先升 ;

贾长征 ;

王雨春 .

中国专利 :CN109251671A ,2019-01-22

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

任晓明 ;

贾长征 ;

李守田 .

中国专利 :CN113004799A ,2021-06-22

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

李守田 ;

任晓明 ;

贾长征 .

中国专利 :CN113004797B ,2024-04-12

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

李守田 ;

尹先升 ;

贾长征 ;

王雨春 .

中国专利 :CN109251680A ,2019-01-22

← 1 2 3 4 5 →