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一种合成氧化铈复合磨料的方法及化学机械抛光液
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN202410901102.4
申请日
:
2024-07-05
公开(公告)号
:
CN118995136A
公开(公告)日
:
2024-11-22
发明(设计)人
:
邹哲敏
贺兆波
张庭
罗月
叶瑞
常希文
冯凯
崔会东
刘文戈
沙傲阳
申请人
:
湖北兴福电子材料股份有限公司
申请人地址
:
443007 湖北省宜昌市猇亭区猇亭大道66-3号
IPC主分类号
:
C09K3/14
IPC分类号
:
C09G1/02
代理机构
:
宜昌市三峡专利事务所 42103
代理人
:
蒋悦
法律状态
:
实质审查的生效
国省代码
:
湖北省 宜昌市
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2024-12-10
实质审查的生效
实质审查的生效IPC(主分类):C09K 3/14申请日:20240705
2024-11-22
公开
公开
共 50 条
[1]
化学机械抛光液
[P].
赵铁均
论文数:
0
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机构:
江苏集萃催化材料有限公司
江苏集萃催化材料有限公司
赵铁均
;
张延风
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机构:
江苏集萃催化材料有限公司
江苏集萃催化材料有限公司
张延风
;
杜新蕊
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机构:
江苏集萃催化材料有限公司
江苏集萃催化材料有限公司
杜新蕊
.
中国专利
:CN118813141A
,2024-10-22
[2]
化学机械抛光液
[P].
赵铁均
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机构:
江苏集萃催化材料有限公司
江苏集萃催化材料有限公司
赵铁均
;
张延风
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机构:
江苏集萃催化材料有限公司
江苏集萃催化材料有限公司
张延风
;
杜新蕊
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机构:
江苏集萃催化材料有限公司
江苏集萃催化材料有限公司
杜新蕊
.
中国专利
:CN118813141B
,2025-04-01
[3]
化学机械抛光液
[P].
杨云忠
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杨云忠
.
中国专利
:CN109929457A
,2019-06-25
[4]
一种氧化铈的合成方法及一种化学机械抛光液
[P].
刘同君
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安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
刘同君
;
尹先升
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机构:
安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
尹先升
;
李节
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机构:
安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
李节
;
蔡文龙
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机构:
安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
蔡文龙
.
中国专利
:CN120247078A
,2025-07-04
[5]
高均匀性氧化铈磨料的制备及在化学机械抛光液中的应用
[P].
王永江
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西北工业大学宁波研究院
西北工业大学宁波研究院
王永江
;
林现连
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机构:
西北工业大学宁波研究院
西北工业大学宁波研究院
林现连
;
于博
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西北工业大学宁波研究院
西北工业大学宁波研究院
于博
;
蔡书豪
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西北工业大学宁波研究院
西北工业大学宁波研究院
蔡书豪
;
王水莲
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西北工业大学宁波研究院
西北工业大学宁波研究院
王水莲
;
冯子潇
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西北工业大学宁波研究院
西北工业大学宁波研究院
冯子潇
;
梁栋
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西北工业大学宁波研究院
西北工业大学宁波研究院
梁栋
;
刘振国
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机构:
西北工业大学宁波研究院
西北工业大学宁波研究院
刘振国
.
中国专利
:CN120964869A
,2025-11-18
[6]
一种用于化学机械抛光液的复合磨料
[P].
张磊
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张磊
;
邹宇琦
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邹宇琦
;
曹凤凯
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曹凤凯
;
刘献伟
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刘献伟
.
中国专利
:CN202322710U
,2012-07-11
[7]
一种含复合磨料的化学机械抛光液
[P].
刘卫丽
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刘卫丽
;
宋志棠
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宋志棠
.
中国专利
:CN104559799A
,2015-04-29
[8]
一种二氧化铈-二氧化硅复合磨料的化学机械抛光液
[P].
论文数:
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机构:
张保国
;
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机构:
陈康
;
王月鹏
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机构:
河北工业大学
河北工业大学
王月鹏
;
宋家坤
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机构:
河北工业大学
河北工业大学
宋家坤
;
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机构:
刘世桐
;
吴佳伟
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机构:
河北工业大学
河北工业大学
吴佳伟
;
咸文豪
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机构:
河北工业大学
河北工业大学
咸文豪
;
秦思慧
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机构:
河北工业大学
河北工业大学
秦思慧
.
中国专利
:CN120904795A
,2025-11-07
[9]
一种相变材料复合磨料的化学机械抛光液及其应用
[P].
张楷亮
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张楷亮
;
王路广
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王路广
;
王芳
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王芳
;
左劲松
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左劲松
;
黄金荣
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黄金荣
;
胡凯
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胡凯
.
中国专利
:CN111004581A
,2020-04-14
[10]
一种氧化铈合成方法及一种化学机械抛光液
[P].
黄振鹏
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机构:
安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
黄振鹏
;
尹先升
论文数:
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机构:
安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
尹先升
;
冯家辉
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机构:
安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
冯家辉
;
王博
论文数:
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0
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0
机构:
安集微电子科技(上海)股份有限公司
安集微电子科技(上海)股份有限公司
王博
.
中国专利
:CN120247077A
,2025-07-04
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