一种含复合磨料的化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410852457.5

申请日：

2014-12-31

公开(公告)号：

CN104559799A

公开(公告)日：

2015-04-29

发明(设计)人：

刘卫丽宋志棠

申请人：

申请人地址：

201506 上海市金山区金山工业区天工路285弄2幢

IPC主分类号：

C09G102

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所 31219

代理人：

郭婧婧;许亦琳

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-29	公开	公开
2015-05-27	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101611368135 IPC(主分类):C09G 1/02 专利申请号:2014108524575 申请日:20141231
2017-11-07	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/304 申请公布日:20150429

共 50 条

[1]

一种用于化学机械抛光液的复合磨料 [P].

张磊 ;

邹宇琦 ;

曹凤凯 ;

刘献伟 .

中国专利 :CN202322710U ,2012-07-11

[2]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141A ,2024-10-22

[3]

一种化学机械抛光液及化学机械抛光方法 [P].

张力飞 ;

王同庆 ;

路新春 .

中国专利 :CN111732899A ,2020-10-02

[4]

化学机械抛光液 [P].

赵铁均 ;

张延风 ;

杜新蕊 .

中国专利 :CN118813141B ,2025-04-01

[5]

化学机械抛光液 [P].

杨云忠 .

中国专利 :CN109929457A ,2019-06-25

[6]

化学机械抛光液 [P].

杨春晓 ;

俞昌 ;

肖正龙 ;

荆建芬 .

中国专利 :CN1900146A ,2007-01-24

[7]

化学机械抛光液 [P].

王良咏 ;

宋志棠 ;

刘卫丽 ;

刘波 ;

钟旻 ;

何敖东 .

中国专利 :CN102690604A ,2012-09-26

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

姚颖 ;

宋伟红 ;

孙展龙 .

中国专利 :CN103184009B ,2013-07-03

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

陈国栋 ;

宋伟红 ;

包建鑫 ;

姚颖 .

中国专利 :CN101451048A ,2009-06-10

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

姚红 .

中国专利 :CN101451047B ,2009-06-10

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