一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710171601.9

申请日：

2007-11-30

公开(公告)号：

CN101451047B

公开(公告)日：

2009-06-10

发明(设计)人：

荆建芬杨春晓姚红

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室

IPC主分类号：

H01L21304

IPC分类号：

代理机构：

上海翰鸿律师事务所 31246

代理人：

李佳铭

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2011-01-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101030106126 IPC(主分类):C09G 1/16 专利申请号:2007101716019 申请日:20071130
2013-10-23	授权	授权
2009-06-10	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

张建 ;

姚颖 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

卞鹏程 ;

李恒 .

中国专利 :CN109971358A ,2019-07-05

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101457126A ,2009-06-17

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101747842B ,2010-06-23

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

姚红 .

中国专利 :CN101457127B ,2009-06-17

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

李星 ;

王晨 ;

何华锋 ;

李全干 ;

钱尼星 ;

付世龙 .

中国专利 :CN120230479A ,2025-07-01

[6]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

张建 .

中国专利 :CN102533116B ,2012-07-04

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118530666B ,2024-10-29

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101457125A ,2009-06-17

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

杨春晓 ;

荆建芬 ;

姚红 .

中国专利 :CN101492592A ,2009-07-29

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

周辉 ;

周烈 ;

罗爱清 .

中国专利 :CN118530666A ,2024-08-23

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