一种化学机械抛光液

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200710172367.1
申请日
2007-12-14
公开(公告)号
CN101457125A
公开(公告)日
2009-06-17
发明(设计)人
王晨 杨春晓
申请人
申请人地址
201203上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室
IPC主分类号
C09G102
IPC分类号
H01L21304
代理机构
上海翰鸿律师事务所
代理人
李佳铭
法律状态
授权
国省代码
引用
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共 50 条
[1]
一种化学机械抛光液 [P]. 
周辉 ;
周烈 ;
罗爱清 .
中国专利 :CN118530666B ,2024-10-29
[2]
一种化学机械抛光液 [P]. 
周辉 ;
周烈 ;
罗爱清 .
中国专利 :CN118530666A ,2024-08-23
[3]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
杨春晓 ;
姚红 .
中国专利 :CN101451047B ,2009-06-10
[4]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
张建 .
中国专利 :CN102533116B ,2012-07-04
[5]
一种化学机械抛光液 [P]. 
潘依君 ;
荆建芬 ;
张建 ;
姚颖 ;
宋凯 ;
蔡鑫元 ;
杨俊雅 ;
卞鹏程 ;
李恒 .
中国专利 :CN109971358A ,2019-07-05
[6]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
杨春晓 .
中国专利 :CN101457126A ,2009-06-17
[7]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
蔡鑫元 ;
杨春晓 .
中国专利 :CN101747842B ,2010-06-23
[8]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
杨春晓 ;
姚红 .
中国专利 :CN101457127B ,2009-06-17
[9]
一种化学机械抛光液 [P]. 
杨春晓 ;
荆建芬 ;
姚红 .
中国专利 :CN101492592A ,2009-07-29
[10]
一种化学机械抛光液 [P]. 
荆建芬 ;
蔡鑫元 ;
张建 .
中国专利 :CN102559059A ,2012-07-11