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一种化学机械抛光液
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410997966.0
申请日：
2024-07-24
公开(公告)号：
CN118530666B
公开(公告)日：
2024-10-29
发明(设计)人：
周辉
周烈
罗爱清
申请人：
齐芯微（绍兴）电子材料科技有限公司
申请人地址：
312030 浙江省绍兴市柯桥齐贤街道官沿湖村1幢3楼H区工厂
IPC主分类号：
C09G1/02
IPC分类号：
H01L21/306
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-23 | 公开 | 公开 |
| 2024-09-10 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C09G 1/02申请日:20240724 |
| 2024-10-29 | 授权 | 授权 |