一种化学机械抛光液

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311783855.1

申请日：

2023-12-22

公开(公告)号：

CN120230479A

公开(公告)日：

2025-07-01

发明(设计)人：

李星王晨何华锋李全干钱尼星付世龙

申请人：

安集微电子科技（上海）股份有限公司

申请人地址：

201201 上海市浦东新区华东路5001号金桥出口加工区（南区）T6－9幢底层

IPC主分类号：

C09G1/02

IPC分类号：

H01L21/306

代理机构：

上海市建纬律师事务所 31579

代理人：

李佳铭;王芳

法律状态：

公开

国省代码：

上海市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种化学机械抛光液 [P].

李全干 ;

何华锋 ;

王晨 ;

李星 ;

付世龙 ;

钱尼星 ;

吴鹏 ;

郁夏盈 .

中国专利 :CN120230476A ,2025-07-01

[2]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

姚红 .

中国专利 :CN101451047B ,2009-06-10

[3]

一种化学机械抛光液 [P].

潘依君 ;

荆建芬 ;

张建 ;

姚颖 ;

宋凯 ;

蔡鑫元 ;

杨俊雅 ;

卞鹏程 ;

李恒 .

中国专利 :CN109971358A ,2019-07-05

[4]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101457126A ,2009-06-17

[5]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

蔡鑫元 ;

杨春晓 .

中国专利 :CN101747842B ,2010-06-23

[6]

一种化学机械抛光液 [P].

徐春 .

中国专利 :CN102373013A ,2012-03-14

[7]

一种化学机械抛光液 [P].

史经深 ;

何华锋 ;

王晨 ;

李星 ;

李全干 ;

顾钦源 .

中国专利 :CN118256154A ,2024-06-28

[8]

一种化学机械抛光液 [P].

荆建芬 ;

杨春晓 ;

姚红 .

中国专利 :CN101457127B ,2009-06-17

[9]

一种化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

何华锋 ;

李星 .

中国专利 :CN108250976A ,2018-07-06

[10]

一种化学机械抛光液 [P].

王晨 ;

何华锋 ;

李星 .

中国专利 :CN108250974A ,2018-07-06

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