磁性材料用スパッタリングターゲット、磁性材料用スパッタリングターゲット組立品及び磁性材料用スパッタリングターゲットの製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20240224500
申请日
2024-12-19
公开(公告)号
JP2025102723A
公开(公告)日
2025-07-08
发明(设计)人
ENDO YOSUKE SUGIMOTO KEIJIRO IWABUCHI YASUYUKI HONDA KAZUYA
申请人
JX NIPPON MINING & METALS CORP
申请人地址
IPC主分类号
C23C14/34
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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