电子束激励镀膜装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510549755.5

申请日：

2025-04-29

公开(公告)号：

CN120060795B

公开(公告)日：

2025-07-18

发明(设计)人：

张陈斌张超张严宋永辉王世宽

申请人：

无锡尚积半导体科技股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市新吴区长江南路35-312号厂房

IPC主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C23C14/35 H01L21/67

代理机构：

无锡市兴为专利代理事务所(特殊普通合伙) 32517

代理人：

高敏;屠志力

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-18	授权	授权
2025-06-17	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/34申请日:20250429
2025-05-30	公开	公开

共 50 条

[1]

电子束激励镀膜装置 [P].

张陈斌 ;

张超 ;

张严 ;

宋永辉 ;

王世宽 .

中国专利 :CN120060795A ,2025-05-30

[2]

真空电子束连续镀膜装置 [P].

邹宇 ;

赖奇 ;

廖先杰 ;

刘翘楚 ;

肖传海 ;

彭富昌 ;

钟璨宇 ;

李俊瀚 ;

江思媛 ;

范立男 .

中国专利 :CN209144247U ,2019-07-23

[3]

真空电子束镀膜装置 [P].

赖奇 ;

廖先杰 ;

肖传海 ;

彭富昌 ;

邹宇 ;

李俊瀚 ;

江思媛 ;

黄双华 ;

范立男 .

中国专利 :CN209144245U ,2019-07-23

[4]

电子束激励式光源装置 [P].

前岨刚 ;

山口真典 ;

片冈研 .

中国专利 :CN102916337A ,2013-02-06

[5]

真空电子束对辊镀膜装置 [P].

邹宇 ;

赖奇 ;

廖先杰 ;

刘翘楚 ;

肖传海 ;

彭富昌 ;

钟璨宇 ;

江思媛 ;

范立男 .

中国专利 :CN209144246U ,2019-07-23

[6]

电子束蒸发镀膜装置及电子束蒸发镀膜系统 [P].

杨建 ;

王雪戈 ;

冯治华 .

中国专利 :CN223373199U ,2025-09-23

[7]

电子束镀膜保护装置 [P].

金晨 ;

刘旭 ;

吴子敬 .

中国专利 :CN217997301U ,2022-12-09

[8]

超高真空电子束蒸发器、电子束镀膜装置 [P].

吴向方 .

中国专利 :CN111663105A ,2020-09-15

[9]

电子束激励蓝色荧光体 [P].

猿田尚志郎 .

中国专利 :CN101397498B ,2009-04-01

[10]

电子束镀膜系统 [P].

赖奇 ;

廖先杰 ;

刘翘楚 ;

肖传海 ;

彭富昌 ;

钟璨宇 ;

邹宇 ;

吴恩辉 ;

江思媛 ;

范立男 .

中国专利 :CN209144244U ,2019-07-23

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